對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。
1、水循環(huán)使用了一年多都很正常,可現(xiàn)在制冷速度好像越來越慢了,在氣溫越高時(shí)越明顯?
答:水循環(huán)使用很簡單,但是定期的維護(hù)保養(yǎng)工作還是不能忽視的。有很多看似故障的毛病其實(shí)就是沒有定期做維護(hù)保養(yǎng)引起的。水循環(huán)自身的電功率和制冷劑從負(fù)載中帶走的熱量都需要從前通風(fēng)罩處的散熱器中排走,如果前通風(fēng)罩上吸滿灰塵和柳棉等就會(huì)妨礙這些熱量的散發(fā),制冷效果將大打折扣。一般來說在正常的使用條件下制冷量下降都是因?yàn)橥L(fēng)散熱效果太差或環(huán)境溫度太高引起的。
2、水循環(huán)以前使用都很正常,可現(xiàn)在發(fā)現(xiàn)噪音比以前大很多,這是什么原因?
答:前面提到過水循環(huán)的日常維護(hù)工作,這個(gè)問題也與之有關(guān)。大家都知道,水里面有很少部分的雜質(zhì),就是蒸餾水在加到水箱后也不可能*保證一點(diǎn)雜質(zhì)都沒有。對(duì)于水循環(huán)而言,一般溫度都設(shè)置在20℃,特別適應(yīng)微生物的生長和繁衍。時(shí)間長了以后這些微生物就會(huì)堵塞水路的過濾器造成回水不暢,水泵就會(huì)有較大的噪音。有時(shí)這些微生物附在了換熱器的表面,造成換熱器的傳熱效果變差,制冷量變小。所以一定要嚴(yán)格按照說明書中的要求做好日常維護(hù)工作,定時(shí)清洗內(nèi)槽,長期停用,保持槽內(nèi)干燥。水循環(huán)里面好像有漏水,有時(shí)地面一會(huì)兒就有幾滴,是不是水路上有地方泄漏? 一般來說在正常使用的過程中,水路是不會(huì)有泄漏的。在環(huán)境溫度比較高空氣中的相對(duì)濕度又太大時(shí),在水循環(huán)的水路中的水泵、水管接頭、外接水管處容易凝結(jié)露水,累積多了以后就滴到地面上了,不用擔(dān)心是水路中有漏水的地方。如果您對(duì)這很介意的話,打開空調(diào)降低房間溫度或是除濕都可以避免露水的產(chǎn)生。
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